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磁控溅射中靶中毒是怎么回事？
2021-07-29 10:10:25
磁控溅射原理 电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子...
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