陶瓷靶材的特性要求
1、陶瓷靶材的纯度对溅射薄膜的性能影响很大，陶瓷靶材的纯度越高，溅射薄膜的均匀性和批量产品质量的一致性越好。
2、陶瓷靶材的密度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等，还影响着溅射薄膜的电学和光学性能。靶材越密实，溅射膜粒子的密度越低，放电现象越弱，而薄膜的性能也越好。此外，提高陶瓷靶材的致密度和强度能使靶材更好地承受溅射过程中的热应力。
3、陶瓷溅射靶材的微观结构均匀性对溅射时的成膜速率、沉积薄膜的质量及厚度分布等均有很大的影响。因此，必须做到靶材成分与结构均匀性好，这也是考察陶瓷靶材质量的重要指标之一。