靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

靶材的选用原则

(1)靶材成膜后应具有良好的机械强度和化学稳定性；

(2)作为反应溅射成膜的膜材必须易与反应气体生成化合物膜；

(3)靶材与基体集合必须牢固，否则应采取与基体具有较好结合力的膜材，先溅射一层底膜再进行所需膜层的制备；

(4)在满足膜性能要求的前提下，靶材与基体的热膨胀系数的差值越小越好，借以减小溅射膜热应力的影响；

(5)根据膜的用途与性能要求，所用的靶材必须满足纯度、杂质含量、组分均匀性、机械加工精度等技术要求。