靶材绑定概述

靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式：压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊，钎料常用In、Sn、In –Sn，一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/㎝2。

(1)、靶材绑定的原因

1、防止靶材受热不匀碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材；

2、节省成本，防止变形，如靶材太贵，可将靶材做薄些，绑定背靶以防止变形。

(2)、靶材背靶的选择

1、常用无氧铜，导电性好，无氧铜的导热性比紫铜好；

2、厚度适中，一般建议背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。

(3)、靶材绑定过程

1、绑定前将靶材和背靶表面预处理
2、将靶材和背靶放置在钎焊台上，升温到绑定温度
3、将靶材和背靶金属化
4、粘接靶材和背靶
5、降温和后处理

(4)、绑定靶材使用注意事项

1、溅射温度不宜太高

2、电流要缓慢加大

3、循环冷却水应低于35摄氏度

4、适宜的靶材致密度

六、背板脱落的原因

1、溅射温度高，背靶易被氧化和发生翘曲，靶材在高温溅射时会开裂，造成背靶脱落；

2、电流太大，导热太快造成温度过高，焊料熔化，造成焊料不均匀，造成背靶脱落；

3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度，循环水温度高，造成散热不好而脱落；

4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。